Környezetvédelmi és légáramlás-vezérlési rendszerek vezető félvezetőgyárakban
A páratartalom, az elektrosztatikus töltés és a gázkibocsátás pontos szabályozása kritikus fontosságú a fejlett félvezető-gyártó létesítményekben. A szigorú páratartalom-szabályozás ±1 % RH tartományon belül megakadályozza a szilíciumlapkák deformálódását és a folyamat instabilitását a nagy pontosságú litográfiai alkalmazásokban. A fejlett gyártóüzemek kondenzációszabályozó rendszereket alkalmaznak a stabil páratartalom fenntartására, amelyeket ionizált levegőt biztosító megoldásokkal párosítanak, hogy minimalizálják az elektrosztatikus kockázatot a 300 mm-es szilíciumlapkáknál. A többfokozatú kémiai mosóberendezések hatékonyan szabályozzák a fényérzékeny réteg gázkibocsátását, és így támogatják a magas kihozatalt az EUV-litográfiai folyamatokban.
HEPA / ULPA szűrés és tisztasági osztályú helyiségek infrastruktúrájának támogatása
A fejlett félvezető-gyártóüzemek nagy sűrűségű HEPA- és ULPA-szűrőrendszerekre támaszkodnak az ISO 3–5 tisztasági osztályú helyiségek eléréséhez, amelyek ultra-nagy hatékonysággal távolítják el a 0,12 mikronos részecskéket. A fokozatosan csökkenő és lamináris áramlási tervek lehetővé teszik a nagyon magas levegőcserét, amely szükséges az alacsonyabb mint 7 nm-es, illetve a 3 nm-es és 5 nm-es technológiai csomópontok gyártásához.
Ezen szűrőrendszerek szerkezeti integritása és stabilitása erősen függ robosztus, tisztaszkárosító-alkalmazásra alkalmas támaszkeretektől . Hengdong Alumínium szakad abban tisztaszkárosító-szintű alumínium profiloktól és olyan szerkezeti megoldásoktól, amelyek az FFU-k (ventilátoros szűrőegységek) rögzítésének, a szűrőházaknak és a tisztaszkárosító mennyezeti rácsoknak alapvető vázkeretét képezik. Rugalmas, korrózióálló alumínium szerkezeteink biztosítják a levegőáramlás egyenletes eloszlását és a hosszú távú méretstabilitást a kritikus szűrési környezetekben.
Valós idejű figyelés és környezeti vezérlőrendszerek
A vezető félvezető-gyártók ezrekben telepítenek vezeték nélküli érzékelőket a részecskék, rezgések, nyomáskülönbség, hőmérséklet és páratartalom valós idejű figyelésére. A gyors visszacsatolási hurkok lehetővé teszik az automatikus légtechnikai beállítást a szigorú környezeti paraméterek fenntartásához, ami közvetlenül hozzájárul az előrehaladott szilíciumlemez-gyártás magas kihozatali arányához.
Ezeket a figyelő érzékelőket és vezérlőeszközöket gyakran moduláris alumínium vázrendszerre szerelik amelyek rugalmas elhelyezést, könnyű karbantartást és jövőbeli újrakonfigurálást tesznek lehetővé. Hengdong Aluminum lineáris rendszerei és szerkezeti profiljai könnyű, de nagy szilárdságú platformot biztosítanak érzékelők, kábelvezető dobozok és környezetszabályozó alkatrészek rögzítéséhez anélkül, hogy kompromisszumot kötnének a tisztasági osztály megtartásával.
Tisztasági osztályok és szabványok félvezető-gyártásban
A félvezető-ipari tisztasági szobák szigorú ISO 14644-1 és SEMI szabványokat követnek, amelyek ultraalacsony részecskeszámot követelnek meg a litográfia, a lerakódás és egyéb kritikus folyamatok során. Még a csekély szennyeződés is jelentős kihozatalcsökkenést eredményezhet, ezért stabil, szennyeződés-ellenálló infrastruktúra elengedhetetlen.
Szerkezeti és burkolati megoldások félvezető-ipari tisztasági szobákhoz
Az áramlási viszonyokon és szűréseken túl a tisztasági szoba fizikai burkolata is döntő szerepet játszik a hosszú távú működésben. Hengdong Alumínium iparági vezetőt nyújt tisztasági szobákhoz kifejlesztett alumínium profilokat, falváz-rendszereket, moduláris panelrögzítő szerkezeteket és berendezés-tartó állványokat kifejezetten félvezető-ipari minőségű környezetekhez tervezve.
- Tisztasági osztályú alumínium extrúzió sima, nem szóródó felülettel
- Szerkezeti vázak tisztasági osztályú falakhoz, mennyezetekhez és válaszfalakhoz
- Egyedi állványok és tartók folyamatberendezésekhez és kezelőrendszerekhez
- Moduláris, újrakonfigurálható tervek a gyártóüzem (fab) változó elrendezéséhez való alkalmazkodáshoz
A mi Tisztasági osztályú alumínium a termékcsalád megfelel a félvezető-ipari létesítmények szigorú méreti és higiéniai követelményeinek, minimalizálva a részecskék beakadását és támogatva a hosszú távú üzemeltetési stabilitást.
Légcserék, szűrési hatásfok és szerkezeti összefüggések
A nagy értékű félvezető-ipari tisztasági osztályú területeken rendkívül magas légcserét és ULPA-szűrési teljesítményt igényelnek. Ezek a megkövetelt műszaki specifikációk az alábbira épülnek: a tartós, méretstabil tartószerkezetekre a szűrők igazításának, a légáramlás egyenletességének és a nyomástartásnak a fenntartásához.
Hengdong Alumínium extrúziós rendszerek nyújtanak:
- Magas szilárdság–tömeg arányt a felső elosztó egységek (FFU) és a szűrők tartószerkezetei számára
- Kiváló korrózióállóságot és tisztíthatóságot
- Pontos méreteltéréseket a moduláris panelek telepítéséhez
- Kompatibilitást az ISO 14644 és a SEMI által ajánlott tisztasági osztályokat biztosító tisztaszoba-tervezési gyakorlatokkal
Új irányzatok: rugalmas és moduláris tisztaszoba-infrastruktúra
A következő generációs félvezető-gyártó üzemek felé haladnak moduláris, újrakonfigurálható tisztaszoba-tervek felé a gyártóberendezések frissítésének, az elrendezés módosításainak és az új folyamatok érvényesítésének gyorsítása érdekében. A kulcsfontosságú irányzatok közé tartoznak az integrált IoT-képességgel ellátott moduláris panelek, a digitális ikertest (digital twin) szimuláció és a gyorsabb tisztaszoba-minősítési ciklusok.
Ez az átmozdulás erősen előnyösen érinti a rugalmas alumínium szerkezeti rendszereket a hagyományos hegesztett acél- vagy merev építési megoldásokkal szemben. Hengdong Alumínium ezt a rugalmasságot a következők teszik lehetővé:
- Moduláris vázrendszer gyors helyszíni összeszereléshez
- Újrahasznosítható profilok, amelyek csökkentik a hulladékot és a költségeket
- Kompatibilitás tisztasági folyosók falpaneleivel és mennyezeti rendszereivel
- Egyedi lineáris rendszerek automatizált anyagmozgatáshoz és szerszámintegrációhoz
Hogyan támogatja a Hengdong Aluminum a félvezetők tisztasági folyosóiban való kiválóságot
Képzett gyártóként a ipari alumínium profilok és lineáris mozgási rendszerek , Hengdong Alumínium kritikus szerkezeti és mechanikai infrastruktúrát biztosít a félvezetők tisztasági szobái számára:
- Tisztasági szoba fal- és mennyezetváza
- FFU-k és szűrők rögzítéséhez szükséges tartóelemek
- Berendezésvázak és gépalapok
- Moduláris tisztasági szoba burkolati szerkezetek
- Tisztasági szobákhoz alkalmazható lineáris rendszerek és vezérelt alkatrészek
Termékeink láthatatlan, de elengedhetetlen alapját képezik a légtechnikai, szűrő-, érzékelő- és környezetszabályozó rendszereknek a nagy teljesítményű félvezetőgyárakban.
További információkért tisztasági szobákhoz használható alumínium megoldásainkról és egyedi szerkezeti rendszereinkről látogasson el az alábbi weboldalra:
hengdongaluminum.com vagy lépjen kapcsolatba mérnöki csapatunkkal projekt-támogatásért.
EN
