Vide un gaisa plūsmas kontroles sistēmas vadošajās pusvadītāju fabrikās
Precīza mitruma, statiskās elektrības un iztvaikošanas kontrole ir būtiska modernajās pusvadītāju ražošanas iekārtās. Precīza mitruma kontrole ±1 % RH robežās novērš silīcija plāksnīšu izliekšanos un procesa nestabilitāti augstas precizitātes litogrāfijas lietojumos. Modernās pusvadītāju ražotnes izmanto kondensācijas kontroles sistēmas, lai uzturētu stabili mitruma līmeni, kā arī jonizētas gaisa risinājumus, lai minimizētu statiskās elektrības risku 300 mm silīcija plāksnīšām. Dažu posmu ķīmiskie skruberi efektīvi kontrolē fotoresistu iztvaikošanu, nodrošinot augstu iznākumu EUV litogrāfijas procesos.
HEPA / ULPA filtrācija un tīrās telpas infrastruktūras atbalsts
Modernās pusvadītāju ražotnes balstās uz augstas blīvuma HEPA un ULPA filtrācijas sistēmām, lai sasniegtu ISO 3–5 tīrās telpas prasības ar ārkārtīgi augstu efektivitāti daļiņām līdz pat 0,12 mikroniem. Kaskādes un laminārā gaisa plūsmas dizains ļauj sasniegt augstas gaisa apmaiņas ātrumus, kas nepieciešami apakš 7 nm un 3 nm / 5 nm mezglu ražošanai.
Šo filtrācijas sistēmu strukturālā integritāte un stabilitāte lielā mērā ir atkarīga no izturīgiem, tīrām telpām piemērotiem balstiekārtu rāmjiem . Hengdong Aluminium specializējas tīrām telpām piemērotiem alumīnija profiliem un strukturāliem risinājumiem, kas veido pamata rāmi FFU (ventilatora filtru vienību) montāžai, filtru korpusiem un tīrām telpām paredzētajiem griestu režģiem. Mūsu stingrie, korozijai izturīgie alumīnija konstrukcijas nodrošina vienmērīgu gaisa plūsmas sadali un ilgstošu dimensiju stabilitāti kritiskām filtrācijas vides apstākļiem.
Reāllaika uzraudzības un vides kontroles sistēmas
Vadošās pusvadītāju ražotnes izmanto tūkstošiem bezvadu sensoru reāllaika uzraudzībai pār daļiņām, vibrāciju, spiediena starpību, temperatūru un mitrumu. Ātrās atsauksmes cilpas ļauj automātiski pielāgot gaisa kondicionēšanas sistēmu, lai uzturētu stingrus vides parametrus, tieši veicinot augstu iznākumu modernajā silīcija plākšņu ražošanā.
Šos uzraudzības sensorus un kontroles ierīces bieži uzstāda uz modulāriem alumīnija rāmjiem kas ļauj elastīgi izvietot, viegli apkopt un nākotnē pārkonfigurēt. Hengdong Aluminum lineārie sistēmu un strukturālie profili nodrošina vieglu, taču augstas izturības platformu sensoru, kabeļu stiepļu un vides kontroles komponentu montāžai, neapdraudot tīrās telpas integritāti.
Tīrās telpas klasifikācijas un standarti pusvadītāju ražošanā
Pusvadītāju tīrās telpas atbilst stingriem ISO 14644‑1 un SEMI standartiem, kur nepieciešams ļoti zems daļiņu skaits litogrāfijai, nogulsnēšanai un citām kritiskām procesām. Pat niecīga piesārņojuma daļiņa var izraisīt būtisku ražības zudumu, tādēļ stabila un piesārņojumam izturīga infrastruktūra ir būtiska.
Strukturālas un aploksnes risinājumi pusvadītāju tīrām telpām
Papildus gaisa plūsmai un filtrācijai tīrās telpas fiziskais apvalks spēlē būtisku lomu ilgtermiņa darbībā. Hengdong Aluminium nodrošina nozares līderpozīcijā esošus tīrām telpām paredzētus alumīnija profilus, sienas rāmju sistēmas, modulāras panelu montāžas konstrukcijas un aprīkojuma balstiekārtas izstrādāts īpaši pusvadītāju klases vides vajadzībām.
- Tīrās telpas klases alumīnija ekstrūzija ar gludām, neizkrišanas virsmām
- Konstrukcijas rāmji tīrās telpas sienām, griestiem un starpsienām
- Pielāgoti rati un balstiekārtas procesa iekārtām un manipulācijas sistēmām
- Modulāras, pārkonfigurējamas konstrukcijas, lai pielāgtos mainīgajiem ražošanas telpu izkārtojumiem
Mūsu Tīrās telpas klases alumīnijs produkta sērija atbilst stingrajiem dimensiju un higiēnas prasībām pusvadītāju uzņēmumos, minimizējot daļiņu ieslēgšanos un nodrošinot ilgstošu ekspluatācijas stabilitāti.
Gaisa apmaiņa, filtrācijas efektivitāte un konstrukcijas atkarības
Augstas klases pusvadītāju tīrās telpas prasa ārkārtīgi augstus gaisa apmaiņas ātrumus un ULPA filtrācijas veiktspēju. Šīs prasības pieprasa izturīgas, dimensiju stabilitāti nodrošinošas balstkonstrukcijas nodrošināt filtru izvietojuma pareizību, gaisa plūsmas vienmērīgumu un spiediena saturēšanu.
Hengdong Aluminium ekstrūzijas sistēmas nodrošina:
- Augstu stipruma attiecību pret svaru griestu FFU un filtru atbalstam
- Izteiktu korozijas izturību un tīrāmību
- Precīzus izmērus modulāro paneļu uzstādīšanai
- Saderību ar ISO 14644 un SEMI ieteiktajām tīrās telpas projektēšanas praksēm
Jaunākās tendences: elastīga un modulāra tīrās telpas infrastruktūra
Nākotnes paaudzes pusvadītāju ražotnes virzās uz modulārām, pārkonfigurējamām tīrās telpas konstrukcijām lai paātrinātu aprīkojuma modernizāciju, izvietojuma pielāgošanu un jaunu procesu validāciju. Galvenās tendences ietver modulārus paneļus ar integrētu IoT funkcionalitāti, digitālā divinieka simulāciju un ātrāku tīrās telpas kvalifikācijas ciklu.
Šis pārejas process ļoti veicina elastīgās alumīnija konstrukcijas sistēmas salīdzinājumā ar tradicionālajām metinātajām tērauda vai fiksētajām konstrukcijām. Hengdong Aluminium šo elastīgumu nodrošina:
- Modulārs rāmis ātrai montāžai uz vietas
- Atkārtoti izmantojamie profili, kas samazina atkritumus un izmaksas
- Saderība ar tīrām telpām paredzētajām sienas panelēm un griestu sistēmām
- Pielāgotas lineārās sistēmas automatizētai apstrādei un rīku integrācijai
Kā Hengdong Aluminium atbalsta pusvadītāju tīro telpu izcilību
Kā profesionāls ražotājs rūpnieciskie alumīnija profili un lineārās kustības sistēmas , Hengdong Aluminium nodrošina kritisku strukturālu un mehānisku infrastruktūru pusvadītāju tīrām telpām:
- Tīro telpu sienas un griestu rāmis
- FFU un filtru montāžas balsti
- Aprīkojuma rāmi un mašīnu pamati
- Modulāras tīro telpu ierobežojošas konstrukcijas
- Tīro telpām piemērotas lineārās sistēmas un vadības komponenti
Mūsu produkti veido ne redzamu, bet būtisku HVAC, filtrācijas, sensoru un vides kontroles sistēmu pamatu augstas veiktspējas pusvadītāju ražotnēs.
Lai iegūtu papildinformāciju par mūsu tīro telpu alumīnija risinājumiem un pielāgotajām strukturālajām sistēmām, lūdzu, apmeklējiet vietni
hengdongaluminum.com vai sazinieties ar mūsu inženieru komandu projekta atbalstam.
EN
