Aplinkos ir oro srauto valdymo sistemos pirmaujančiose puslaidininkių gamyklose
Tikslus drėgmės, statinio elektros krūvio ir išgaravimo kontrolė yra būtina pažangiose puslaidininkių gamybos įmonėse. Tikslus drėgmės kontrolė ±1 % santykinės drėgmės ribose neleidžia plokštelių išsivengti ir užtikrina procesų stabilumą aukštos tikslumo litografijos taikymuose. Pažangios gamyklos naudoja kondensacijos kontrolės sistemas, kad palaikytų pastovią drėgmę, kartu su jonizuoto oro sprendimais, kurie mažina statinio elektros krūvio riziką 300 mm plokštėms. Daugiapakopės cheminės valymo sistemos veiksmingai kontroliuoja fotoatspindžio medžiagos išgaravimą, taip padedant pasiekti aukštą naudingumo rodiklį EUV litografijos procesuose.
HEPA / ULPA filtracija ir valymo patalpų infrastruktūros palaikymas
Pažangios puslaidininkių gamyklos remiasi didelės tankumo HEPA ir ULPA filtravimo sistemomis, kad pasiektų ISO 3–5 valymo patalpų sąlygas, užtikrindamos ypatingai aukštą efektyvumą dalelėms iki 0,12 mikrono dydžio. Kaskadinės ir laminarinės oro srautų schemos leidžia pasiekti aukštus oro keitimo dažnius, reikalingus sub-7 nm bei 3 nm / 5 nm mazgų gamybai.
Šių filtravimo sistemų konstrukcinė vientisumas ir stabilumas labai priklauso nuo tvirtų, valymo patalpoms tinkamų atraminių konstrukcijų . Hengdong Aluminum specializuojasi valymo patalpoms skirtų aliuminio profilių ir konstrukcinių sprendimų, kurie sudaro pagrindinę FFU (ventiliatoriaus su filtrais vieneto) montavimo, filtrų korpusų ir valymo patalpų lubų tinklelių konstrukciją. Mūsų standžios, korozijai atsparios aliuminio konstrukcijos užtikrina nuolatinę oro srauto pasiskirstymą ir ilgalaikę matmeninę stabilumą kritinėse filtravimo aplinkose.
Realaus laiko stebėjimo ir aplinkos valdymo sistemos
Pirmosios klasės puslaidininkių gamyklos naudoja tūkstančius belaidžių jutiklių realaus laiko dalelių, virpesių, slėgio skirtumo, temperatūros ir drėgmės stebėjimui. Greiti grįžtamieji ryšiai leidžia automatiškai reguliuoti DVT įrangą, kad būtų išlaikyti griežti aplinkos parametrai, tiesiogiai padedant pasiekti aukštą plokštelių gamybos išeigą pažangiose gamybos linijose.
Šie stebėjimo jutikliai ir valdymo įrenginiai dažnai montuojami ant moduliarių aliuminio rėmų sistemų kurie leidžia lankstų pozicionavimą, paprastą priežiūrą ir būsimą perkonfigūravimą. Hengdong aliuminio tiesiaeigiai sistemos ir konstrukciniai profiliai suteikia lengvą, tačiau didelės stiprybės platformą jutiklių, kabelių dėžučių ir aplinkos valdymo komponentų montavimui, neįtakojant švariosios patalpos vientisumo.
Švariųjų patalpų klasifikacija ir standartai puslaidininkių gamyboje
Puslaidininkių švariosios patalpos atitinka griežtus ISO 14644-1 ir SEMI standartus, kurie reikalauja ultražemų dalelių skaičiaus litografijai, nuosėdų formavimui ir kitiems kritiniams procesams. Net nedidelis užteršimas gali sukelti reikšmingą naudingumo praradimą, todėl stabilios, užteršimui atsparios infrastruktūros yra būtinos.
Konstrukciniai ir apsauginiai sprendimai puslaidininkių švariosioms patalpoms
Be oro srauto ir filtravimo, švariosios patalpos fizinis apvalkalas lemia ilgalaikę jos veikimą. Hengdong Aluminum teikia pramonės lyderio švariųjų patalpų aliuminio profilius, sienų rėmines sistemas, modulius plokščių tvirtinimo konstrukcijas ir įrangos atramų lentynas specialiai suprojektuota puslaidininkių klasės aplinkoms.
- Valymo patalpų klasės aliuminio profiliai su lygiomis, nešluoščiančiomis paviršiaus savybėmis
- Konstrukciniai rėmai valymo patalpų sienoms, luboms ir pertvaroms
- Individualūs stalčiai ir atramos technologinėms įrangoms bei pervežimo sistemoms
- Moduliniai, perkonfigūruojami dizainai, pritaikomi keičiamoms gamybos patalpų išdėstymo schemoms
Mūsų Valymo patalpų klasės aliuminis produktų serija atitinka griežtus matmeninius ir higienos reikalavimus, keliamus puslaidininkių gamybos įmonėse, mažina dalelių įstrigimą ir užtikrina ilgalaikę eksploatacinę stabilumą.
Oro keitimai, filtravimo našumas ir konstrukcinės priklausomybės
Aukštos kokybės puslaidininkių valymo patalpos reikalauja itin aukštų oro keitimo dažnių ir ULPA filtravimo našumo. Šie rigoristiški inžineriniai reikalavimai remiasi ilgaamžiais, matmeniškai stabiliais atraminiais konstrukcijomis užtikrinti filtrų lygiavimą, oro srauto vienodumą ir slėgio išlaikymą.
Hengdong Aluminum ekstruzijos sistemos suteikia:
- Didelį stiprumo ir svorio santykį lubų montuojamoms FFU ir filtrų atramoms
- Puikią korozijos atsparumą ir valymo patogumą
- Tikslų matmenų laikymąsi modulinėms plokštėms montuoti
- Suderinamumą su ISO 14644 ir SEMI rekomenduotomis švariosios patalpos projektavimo praktikomis
Kylančios tendencijos: lanksti ir modulinė švariosios patalpos infrastruktūra
Kitos kartos puslaidininkių gamybos įmonės juda link modulinių, perkonfigūruojamų švariosios patalpos projektų kad būtų pagreitintos įrangos modernizavimo, išdėstymo koregavimo ir naujų procesų patvirtinimo procedūros. Pagrindinės tendencijos apima modulines plokštes su integruota IoT funkcionalumu, skaitmeninio dvynio modeliavimą bei greitesnius švariosios patalpos kvalifikavimo ciklus.
Šis poslinkis labai palankus lankstiems aliuminio konstrukciniams sistemoms vietoj tradicinių suvirintų plieno arba nejudamų konstrukcijų. Hengdong Aluminum šią lankštumą užtikrina:
- Modulinė konstrukcija greitai statybvietėje montuoti
- Pakartotinai naudojami profiliai, kurie sumažina atliekas ir sąnaudas
- Suderinamumas su valymo patalpų sienų plokštėmis ir lubų sistemomis
- Tinkintos tiesiaeigės sistemos automatizuotam pervežimui ir įrankių integracijai
Kaip „Hengdong Aluminum“ palaiko puslaidininkių valymo patalpų puoselėjimą
Kaip profesionalus gamintojas pramoniniai aliuminio profiliai ir tiesiaeigės judėjimo sistemos , Hengdong Aluminum teikia esminę konstrukcinę ir mechaninę infrastruktūrą puslaidininkių valymo patalpoms:
- Valymo patalpų sienų ir lubų rėmai
- FFU ir filtrų montavimo atramos
- Įrangos rėmai ir mašinų pagrindai
- Modulinės valymo patalpų apsauginės konstrukcijos
- Valymo patalpoms tinkamos tiesiaeigės sistemos ir nukreipiamieji komponentai
Mūsų produktai sudaro nematomą, bet būtiną šilumos, ventiliacijos ir oro kondicionavimo (HVAC), filtravimo, jutiklių bei aplinkos valdymo sistemų pagrindą aukšto našumo puslaidininkių gamyklose.
Daugiau informacijos apie mūsų valymo patalpoms skirtus aliuminio sprendimus ir pritaikytas konstrukcines sistemas rasite svetainėje
hengdongaluminum.com arba susisiekite su mūsų inžinerine komanda dėl projekto palaikymo.
EN
